Pusvadītāju rūpniecībā,mikronu{0}}līmeņa precizitātenav greznība,{0}}tas ir pamats. Izmantotās sastāvdaļasvafeļu apstrādes sistēmas, kodināšanas kameras, unfotolitogrāfijas instrumentipieprasītizmēru pielaidesbieži zem 5 mikroniem. Tradicionālās CNC apstrādes metodes nespēj apmierināt šādas prasības bez specializētas procesa kontroles un metroloģijas.
Izaicinājums: kad mikroni ir svarīgi
Atšķirībā no parastajām rūpnieciskajām detaļām, pusvadītāju komponentiem:
Uzturētārkārtējs plakanums un paralēlisms
Irprecīza caurumu izlīdzināšana un slīpums
Nodrošinātminimāli virsmas defektikas var ietekmēt vakuuma vai optisko veiktspēju
Pat mazākās novirzes var izraisīt:
Neatbilstība vafeļu pārsūtīšanas laikā
Precizitātes zudums fotomaskas projekcijā
Ražas zudums piesārņojuma vai ģeometriskas novirzes dēļ
Reāls-pasaules piemērs: litogrāfijas rīka rāmji
Vienā projektā, kurā piedalījās aviegls alumīnija sakausējuma rāmisfotolitogrāfijas sistēmai,zem-5 μm pielaidebija nepieciešams uz montāžas virsmām, lai nodrošinātuperfekta pārklājuma izlīdzināšanamikroshēmu modeļiem.
Lai to panāktu, mēs izmantojām:
5 asu CNC apstrāde ar termisko kompensāciju
Zema-vibrācija, liela-ātruma vārpstas vadība
Reāllaika-dimensiju pārbaude un atgriezeniskās saites cilpas
Bez šādas precizitātes tikai 10 μm nobīde var izkropļot maskas izlīdzināšanu un samazināt mikroshēmu iznākumu,{1}}izmaksājot klientam ievērojamu dīkstāvi un materiālus zaudējumus.
Mūsu process plkstBISHEN Precizitāte
Mēs apkalpojam pusvadītāju OEM ar:
Īpaši-precīza CNC frēzēšana un virpošana (atkārtojamība ±2–5 μm)
Ra Mazāks vai vienāds ar 0,2 μm virsmas apdarekritiskām blīvējuma vai optiskām zonām
Tīras telpas-saderīgs iepakojums
CMM un lāzerskenēšanas pārbaude ar izsekojamiem ziņojumiem
Mūsu komanda saprotkatra mikrona kritiskums-un atbalsta to ar pieredzi gan pētniecības un izstrādes, gan liela-maza apjoma{2}}ražošanas vidēs.
Kāpēc tas ir svarīgi
Pusvadītāju ražošanā ģeometrija ir viss. Jebkurš izkropļojums, novirze vai izspiedums var izraisīt:
Rakstu kropļojumi
Vafeļu apstrādes kļūdas
Vakuuma sistēmas kļūme
Precīzā apstrāde nenozīmē tikai stingras pielaides{0}}tas ir nodrošinātfunkcionalitāte un uzticamībanākamās -paaudzes mikroshēmu ražošanas iekārtas.
