Pusvadītāju iekārtu ražošanas pasaulē,virsmas kvalitāte nav tikai estētika,{0}}tā ir arī funkcija, ilgmūžība un precizitāte. Tādiem komponentiem kā vafeļu patronas, objektīvu stiprinājumi un precīzijas vadotnes ir jāatbilst ne tikai izmēru pielaidēm, bet arīārkārtējas virsmas apdares prasības, bieži vien zemākRa 0,1 μm.
Kāpēc nanometra{0}}līmeņa virsmas apdarei ir nozīme?
Augstas veiktspējas{0}}pusvadītāju aprīkojums lielā mērā ir atkarīgs no kontaktu precizitātes un saderības ar tīrām telpām. Virsmas raupjums, kas pārsniedz nanometru robežvērtības, var:
Iejaukties arvafeļu izvietošanas precizitāte
Palielinātberze un nodilumskustības laikā
Cēlonisoptiskā signāla izkliede, kas ietekmē fotolitogrāfiju
Izveidotdaļiņu slazdi, palielinot piesārņojuma risku
Piemēram, avafeļu skatuves atbalsta gredzensar virsmas raupjumu, kas pārsniedz specifikāciju, var izraisīt mikro-vibrācijas, samazinot pozicionēšanas precizitāti un ražu.
CNC apstrādes izaicinājums
Virsmas apdares sasniegšana Ra, kas ir mazāka vai vienāda ar 0,1 μm, ievērojami pārsniedz standarta CNC procesus. Tradicionālie instrumenti un parametri bieži atstāj mikro-skrāpējumus, apstrādes pēdas vai atlikušo spriegumu-, kas ir nepieņemami pusvadītāju vidē.
Mūsu pieeja nanometra{0}}līmeņa kvalitātei
PlkstBISHEN Precizitāte, mēs esam izstrādājuši apstrādes darbplūsmas īpaši jutīgām virsmām{0}}lietotnēm:
Izmantošanaultra-smalki graudu karbīda instrumentiar pielāgotu ģeometriju
Pulēšanas caurlaidesintegrēts galīgajos instrumentu celiņos
Dzesēšanas šķidruma kontroles sistēmaslai izvairītos no karstuma{0}}izraisītas mikro{1}}asaras
Saskaņošana arCMM un baltās{0}}gaismas interferometrilai apstiprinātu raupjumu
Katrai daļai tiek veikta vairāku{0}}pakāpju pārbaude ne tikai izmēru pielaidēm, bet arīsub{0}}mikronu virsmas konsistencevisās saskares plaknēs.
Reāls korpuss: spoguļattēla{0}}pabeigtās vafeļu atbalsta plāksnes
Klientam bija vajadzīgas alumīnija vafeļu plāksnes ar labāku virsmas apdari nekāRa 0,05 μm, vienādi visā armatūrai. Izmantojot optimizētas ātrdarbīgas-apdares metodes un pielāgotas pulēšanas stratēģijas, mēs piegādājām komponentus, kas pārsniedz specifikācijas -gatavus EUV-līmeņa tīrās telpas montāžai.
Neļaujiet virsmas apdarei graut jūsu sistēmu
Virsmas nepilnības nanomērogā var mierīgi apdraudēt jūsu visprecīzākos mehānismus. Ja jūsu pieteikums prasaoptiskā{0}}pakāpju apdare, vaiizcila berzes veiktspēja, runā ar mums. Mēs palīdzēsim nodrošināt, ka jūsu daļas atbilst abiemtoleranceuntekstūra.
