Gadījuma izpēte: Izrāviens kvarca stikla substrāta apstrādē
Apstrādes objekts: kvarca stikla substrāts fotolitogrāfijai
Specifikācijas:
Materiāls: 99,99% augstas-tīrības kvarca stikls
Apstrādes funkcijas: abpusējs -C0,2 slīpums + vertikāla sānu siena
Virsmas prasības: Ra < 150nm (spoguļa pakāpe)
Izmēri: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Rūpniecības apstrādes sāpju punktu analīze
Kā pusvadītāju ražošanas iekārtu galvenajiem palīgmateriāliem, kvarca detaļām fotolitogrāfijai vienlaikus jāatbilst trim stingriem standartiem: materiāla caurlaidība > 99,6%, izmēru pielaide ±10 μm un sānu sienu raupjums Ra < 150 nm. Tradicionālajā apstrādes metodē tiek izmantots slīpripas slīpēšanas process, kam ir divas galvenās nozares problēmas:
Efektivitātes sašaurinājums: viena-gabala apstrāde aizņem līdz 120 minūtēm
Virsmas defekti: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Instrumenta zudums: parastais instrumenta kalpošanas laiks ir mazāks par 50 gabaliem
BIŠENrisinājumu tehnoloģiju inovācijas
Ņemot vērā kvarca materiālu cietās un trauslās īpašības, kompozītsapstrādes risinājumsir pieņemts:
• 20kHz ultraskaņas precīzas gravēšanas un frēzēšanas sistēma
• Integrēta PCD mikro{0}asmens frēze (mala R0,05 mm)
• Aksiālais slāņveida griešanas process (2 μm uz slāni)
Izmērīto apstrādes priekšrocību salīdzinājums
Izmantojot procesu pārbaudi un salīdzināšanu, galvenie rādītāji ir ievērojami uzlaboti:
Nozares pielietojuma vērtība
Šis risinājums veiksmīgi atrisināja "šaurās vietas" apstrādes problēmu litogrāfijas iekārtu detaļu lokalizācijas procesā, palielinot kvarca substrāta ražošanas jaudu no 10 gab. dienā līdz 50 gab., bet apstrādes kvalifikācijas līmeni no 63% līdz 98,5%. Saskaņā ar Zeiss lāzera interferometra noteikšanu apstrādes virsmas precizitātes PV vērtība ir<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
ParBIŠEN
Bishen Precizitātespecializējas precīzas aparatūras detaļu apstrādē ar 7500 kvadrātmetru standartizētām darbnīcām, un tās pakalpojumi aptver kosmosa, medicīnas iekārtu, rūpniecisko robotu un citas jomas. Pateicoties iespējai apstrādāt sarežģītas konstrukciju daļas un ISO sistēmas sertifikāciju, tas nodrošina klientiem pilnus-procesu risinājumus, sākot no projektēšanas un izstrādes līdz masveida ražošanai.
