Viens no mūsu pusvadītāju klientiem-ES-bāzēts oriģinālo iekārtu ražotājs, kas specializējas EUV litogrāfijā-, vērsās pie mums ar izaicinājumu: ražot augsta-blīvumamikrokanālu dzesēšanas plāksneizgatavots no 6061-T6 alumīnija. Nepieciešamā sastāvdaļa1200 mikro-caurumi, katrsØ 0,18 mm, ar adziļuma-līdz-diametra attiecība ir 10:1, unpozicionālā precizitāte zem ±5 μmpa visu daļas virsmu.
Galvenie izaicinājumi ietvēra:
Instrumenta lūzumsekstrēmo malu attiecību dēļ
Uzturēšanacauruma taisnumslielos urbšanas dziļumos
Nodrošinotskaidu evakuācijanedeformējot mikro{0}}caurumus
Novērsttermiskie kropļojuminepārtrauktas urbšanas laikā
Lai tos risinātu, mēs izmantojām:
Specializēti mikro{0}}urbšanas instrumentiar iekšējiem dzesēšanas šķidruma kanāliem
Vairāki{0}} soļiurbšanas stratēģijasar aiztures un ievilkšanas vadību
Skalošana ar ultraskaņas{0}}palīdzībulai nodrošinātu skaidu attīrīšanu
Notiek -processtermiskā stabilizācijastarp pieejām, lai kontrolētu paplašināšanos
Pēc vairākām iterācijām un simulācijām mēs ieviesām a2-pakāpju urbšanas un rīvēšanas processkas nodrošināja konsekventu caurumu ģeometriju un bez{0}}iekšējās virsmas. Pēc-apstrādes pārbaudes, izmantojot a500x digitālais mikroskopsunCMM ar zondes skenēšanuapstiprināts:
Visi caurumi iekšā±3 μmtolerances josla
Virsmas raupjums zemākRa 0,2 μm
Attāluma starp caurumiem-līdz-caurumiem±4 μmpāri 150 mm × 150 mm matricai
Komponents izturēja hēlija noplūdes testus, siltuma pārneses efektivitātes testus un tika pieņemts klienta izmēģinājuma versijā bez pārstrādes.
