Apstrādes objekta analīze
Materiāls: optiskās kvalitātes kvarca stikls
Apstrādes funkcijas: vairāku-virsmas kontūru slīpēšana (tostarp 3 asimetriskas šķautnes)
Atslēgas izmēri: 16 × 16 × 10 mm (kļūda ±0,002 mm)
Šī kvarca prizma, kas ir tikai naga lielumā, ir vietējās augstākās klases litogrāfijas iekārtas optiskās sistēmas galvenais gaismas{0}}vadošais elements. Tā 8 sarežģītajām izliektajām virsmām ir jāsasniedz 99,6% caurlaidība un nanometru -līmeņa refrakcijas precizitāte, un virsmas raupjums tieši ietekmē litogrāfijas iekārtas ekspozīcijas izšķirtspēju.
Nozares sāpju punkti un tehniskas grūtības
Optisko tehnoloģiju uzņēmums, veicinot litogrāfijas iekārtu lokalizāciju, saskārās ar vājo vietu kvarca prizmu apstrādē:
Tradicionālie slīpēšanas defekti: raupjums pēc manuālas pulēšanas joprojām sasniedz Sa 120nm, kā rezultātā gaismas izkliedes zudums ir 15%.
Iekārtu atkarība no importa: vienas japāņu īpaši{0}}precīzās slīpmašīnas izmaksas pārsniedz 20 miljonus juaņu, un piegādes laiks ir 18 mēneši.
Ienesīguma krīze: tikai 32 no pirmās 500 izmēģinājuma sērijām atbilda standartiem, nopietni kavējot projekta progresu.
Dilemma "nevar atļauties importētas iekārtas un iekšzemes procesi nav labi" tieši bloķēja neatkarīgas litogrāfijas iekārtu izstrādes procesu.
BIŠENrisinājumu risinājums
Reaģējot uz optisko komponentu ārkārtējām precizitātes prasībām, BISHEN tehniskā komanda ir izstrādājusi novatorisku pētniecību un izstrādi:
1. Ultraskaņas vertikālās piecu -asu savienojumu apstrādes sistēma
2. 0.1μm-līmeņa dinamiskā kompensācija, precīza 18 asu savienojuma darbgaldu vadība
3. Atbilstoši asimetriskas virsmas CAD/CAM inteliģentā programmēšana
4. Augstfrekvences-ultraskaņas slīpēšanas tehnoloģija
5. 40kHz ultraskaņas vibrācija samazina griešanas spriedzi par 52% un novērš kvarca mikroplaisas
6. Dimanta mikro-pulvera slīpripas kalpošanas laiks tiek pagarināts 3 reizes
Faktiskais izmērītā veiktspējas lēciens
Ir sasniegti trīs lieli sasniegumi noteikta veida sadzīves litogrāfijas iekārtu prizmas masveida ražošanā:
1. Virsmas kvalitāte: raupjums Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Apstrādes efektivitāte: vienas-gabala darba stundas tiek samazinātas no 14 stundām līdz 3,5 stundām
3. Izmaksu kontrole: ieguldījumi iekārtās ir tikai 1/5 no importētā risinājuma
Pirmās 3000 produktu partijas ienesīguma līmenis pieauga līdz 98,7%, palīdzot klientiem pabeigt prototipu montāžu 6 mēnešus pirms grafika
ApmēramBIŠEN
BIŠENPrecīzijas tehnoloģija (dibināta 2017. gadā) koncentrējas uz “šaurās vietas” pārvarēšanu augstākās klases ražošanas jomā. Tā ir uzbūvējusi 7500 kvadrātmetrus lielu digitālo rūpnīcu Donguanā, kas aprīkota ar importētu iekārtu kopām, piemēram, piecu-asu savienojuma apstrādes centriem un īpaši-precīzām optiskām slīpmašīnām. Izmantojot novatoriskas tehnoloģijas, piemēram, ultraskaņas apstrādi un kriogēno griešanu pusvadītāju iekārtās, optoelektroniskos instrumentos un citās jomās, tas ir nodrošinājis galveno detaļu apstrādes risinājumus vairāk nekā 20 iekšzemes litogrāfijas iekārtu nozares ķēdes uzņēmumiem un ir piegādājis vairāk nekā 500 000 precīzijas optisko komponentu.
