bruce_qin@bishenprecision.com    +8618925702550
Cont

Vai ir kādi jautājumi?

+8618925702550

Apr 16, 2025

No 34 dienām līdz 8,5 dienām: pusvadītāju -klases kvarca izsmidzināšanas plāksnes mikro{3}}caurumu apstrādes efektivitātes lēciens

Lietas fons: "Tūkstoš{0}}caurumu problēma" mikroshēmu ražošanā

20250416101940


Pusvadītāju mikroshēmu apstrādes jomā kvarca stikls tiek plaši izmantots smidzināšanas disku ražošanā kodināšanas procesā, pateicoties tā augstajai tīrībai, augstas temperatūras izturībai un ķīmiskajai stabilitātei. Vadošā mikroshēmu iekārtu ražotāja apstrādes prasības kvarca smidzināšanas diskiem ir ļoti reprezentatīvas:

Materiāls: Kvarca stikls (cietība HV700)
Galvenās funkcijas: 0,5 mm diametrs, 5 mm dziļi mikro-caurumi (dziļuma-pret-diametra attiecība 10:1), 4996 caurumi ir vienmērīgi jāapstrādā diskā ar diametru 280 mm
Precizitātes prasības: Cauruma apaļums Mazāks vai vienāds ar ±5 μm, pozīcijas kļūda<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Ražotājs sākotnēji izmantoja tradicionālo urbšanas tehnoloģiju, taču saskārās ar divām liktenīgām problēmām:
Efektivitātes sašaurinājums: viena cauruma apstrāde aizņem 270 sekundes, un viena diska apstrādei nepieciešama nepārtraukta darbība 34 dienas;
Raža nekontrolējama: Cauruma malas sabrukums sasniedz 0,4 mm, kā rezultātā vairāk nekā 30% apstrādājamo detaļu tiek saplaisātas un nobirušas sprieguma koncentrācijas dēļ.

BISHEN risinājumi: Ultraskaņas tehnoloģija sagrauj tradicionālo amatniecību
Ņemot vērā kvarca stikla trauslās un cietās īpašības, BISHEN R&D komanda ierosināja ‌ultraskaņas precīzās gravēšanas un frēzēšanas sistēmu‌, kas izlauzās cauri trim tehniskiem jauninājumiem:

① Augstas{0}}frekvences ultraskaņas vibrāciju samazināšanas tehnoloģija ‌
20 kHz ultraskaņas vibrācija saīsina saskares laiku starp urbi un materiālu līdz mikrosekundēm, samazina griešanas spēku par 65% un nomāc malas sabrukšanu no saknes.

② Integrēta PCD urbja pielāgošana ‌
Urbja uzgalis ir izgatavots no dimanta kompozītmateriāla loksnes (PCD) vienā gabalā ar griešanas malas loka precizitāti ±2 μm un 0,01 grādu aksiālās korekcijas sistēmu, lai nodrošinātu 5 mm dziļu caurumu taisnumu.

‌③ Vakuuma adsorbcijas pozicionēšanas instrumenti ‌
Gaisa peldošā platforma ar neatkarīgu vairāku apgabalu vadību stabilizē 280 mm kvarca diska līdzenuma kļūdu 0,005 mm robežās, novēršot urbšanas pozīcijas novirzes.

Apstrādes datu salīdzinājums: dubults lēciens efektivitātes un precizitātes ziņā

20250416102718

Risinājumu trīs mēnešus pēc kārtas ir pārbaudījuši klienti masveida ražošanā, un izsmidzināšanas plāksnes iznākums ir palielinājies no 67% līdz 98%, ietaupot ražotājiem vairāk nekā 8 miljonus juaņu kvarca materiālu zudumu izmaksās katru gadu.

202504161019101

Nozares iedvesma: precīzās apstrādes tehniskais pagrieziena punkts
Kvarca stikla mikro{0}}caurumu apstrāde reiz bija "šaurā vieta", kas ierobežoja mikroshēmu aprīkojuma jaunināšanu. Izmantojot ultraskaņas tehnoloģiju inženiertehnisko pielietojumu, BISHEN ne tikai atrisināja mikro-caurumu apstrādes problēmu ar dziļuma-pret-diametra attiecību 10:1, bet arī apstiprināja jaunu trauslu un cietu materiālu precīzas apstrādes paradigmu - ‌aizvietojot ar vienkāršu vibrācijas palielinājumu, kam ir instrumenta cietība. universāla vērtība īpaši-precīzai apstrādei tādās nozarēs kā keramika un optiskais stikls.

Par Bishen Precision
BishenPrecision koncentrējas uz augstas{0}precizitātes metāla detaļu ražošanu. Paļaujoties uz 7500 kvadrātmetru moderno ražošanas bāzi, tas nodrošina vienreizējus risinājumus sarežģītām konstrukciju daļām kosmosa, medicīnas iekārtu un robotikas jomā. Uzņēmums par savu galveno konkurētspēju uzskata "ārkārtīgu precizitāti un uzticamu piegādi", un tam ir iespēja nodrošināt pilnus -procesa pakalpojumus, sākot no materiālu modifikācijas, vairāku{7}}asu savienošanas apstrādes līdz mikronu{8}līmeņa testēšanai. Tam ir ISO 13485 medicīnisko ierīču kvalitātes vadības sistēma, AS9100 aviācijas un kosmosa sertifikācija un citas kvalifikācijas, un tas kopumā ir piegādājis vairāk nekā 200 000 galveno detaļu, palīdzot klientiem pārkāpt precīzas ražošanas robežas.

Send Inquiry